製 品 情 報

CMPパッドコンディショナー

CMPパッドコンディショナーとは、ダイヤモンドをステンレスなどの金属に接合した工具です。 またダイヤモンド工具には、下記のような特長があります。

  • 工具形状は種々の形状が作成できます。
  • 工具サイズは数ミリメートルの小さなものから、1メートルを超える大きなものまで作成できます。
  • ダイヤモンドは単結晶ダイヤモンド、破砕ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンドなど、種々のダイヤモンドで作成できます。
  • ダイヤモンドサイズは10メッシュ~2000メッシュまで、幅広く対応できます。
こんな用途があります
  • 半導体用CMPパッドコンディショナー
  • ハードディスク基板用CMPパッドコンディショナー
  • ガラス、セラミックス、化合物半導体基板などの各種硬脆材料の加工工具

この製品に関するお問い合わせはこちらへ

日鉄ケミカル&マテリアル CMPドレッサーユニット
052-603-7918
info@ml.nscm.nipponsteel.com

ページトップへのボタン