CMPパッドコンディショナー
CMPパッドコンディショナーとは、ダイヤモンドをステンレスなどの金属に接合した工具です。
またダイヤモンド工具には、下記のような特長があります。
- 工具形状は種々の形状が作成できます。
- 工具サイズは数ミリメートルの小さなものから、1メートルを超える大きなものまで作成できます。
- ダイヤモンドは単結晶ダイヤモンド、破砕ダイヤモンド、多結晶ダイヤモンドなど、種々のダイヤモンドで作成できます。
- ダイヤモンドサイズは10メッシュ~2000メッシュまで、幅広く対応できます。
こんな用途があります
- 半導体用CMPパッドコンディショナー
- ハードディスク基板用CMPパッドコンディショナー
- ガラス、セラミックス、化合物半導体基板などの各種硬脆材料の加工工具
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日鉄ケミカル&マテリアル CMPドレッサーユニット
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